產(chǎn)品概述

4K閉循環(huán)低溫探針臺在科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學(xué)性能測試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學(xué)性能，從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。

PSM-4K系列低溫探針臺是的一款性能超好的閉循環(huán)低溫探針臺，其緊湊型以及低振動的設(shè)計，能夠為半導(dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個＜5K-350K高低溫真空測試環(huán)境。采用閉循環(huán)制冷，無需消耗液氦，溫度4.5K。

特點
• 采用閉循環(huán)制冷，無需消耗液氦，溫度4.5K。
• 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空 的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。
• 特別的探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié)，能滿足4英寸樣品的測試。
• 真空腔材質(zhì)為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準度和穩(wěn)定性。
• 探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小于100fA @1V@4.5K-350K。
• 測試溫度范圍寬，支持4.5K-350K連續(xù)變溫。
• 特別設(shè)計的柔性探針，將探針安裝到銅制彈片上，避免扎針過程中力量過大導(dǎo)致樣品或電極損壞。

技術(shù)參數(shù)

參數(shù)和指標：